陈涛教授工作室简介

l 工作室成员介绍：

首席教授：

陈涛 研究员，博导

简介：1987年，本科毕业于大连理工大学，获学士学位；2007年，研究生毕业于中国科学院大学，获博士学位；历任助理研究员、副研究员、研究员。先后担任中国科学院长春光机所，光电对抗与测控研究部主任、副所长、总工程师、所学术委员会主任。1998年获国务院颁发的政府特殊津贴，2002年获长春市劳动模范，2005年4月入选吉林省拔尖创新人才，2012年12月入选吉林省拔尖创新人才第一层次人才，现担任国防重大项目专家组成员。培养博士硕士五十余名，发表论文多篇，获军队科技进步奖5项，获2022年中科院杰出成就奖。

双聘教授：

陈涛 研究员，博导，政府特殊津贴、军队科技进步奖获得者；

刘昌华 副研究员，硕导，精密机械领域专家；

全职教师：

明名 研究员，博导，吉林省D类高层次人才，杭州市D类高层次人才；

赵帅 副研究员，硕导，激光系统领域专家；

l 研究方向：

总体简介：工作室致力于对集成电路半导体芯片量检测领域的设备和产品研究与开发，包括明场和暗场的光学量检测模组和设备，攻克成熟制程工艺(28nm)、先进制程工艺(7~14nm)过程中的晶圆纳米级检测难题。工作室教师均曾担任国家级重大项目负责人，工作室主要研究内容为集成电路半导体领域的纳米级光学量检测，包括基于OIC的深紫外光学设计与检测、超精密机械设计、高精度伺服控制、智能化图像处理、深度学习等。

Ø 陈涛 研究员：

主要研究方向为光电精密跟踪、空间目标检测与跟踪、图像处理与深度学习、精密控制等。

Ø 明名 研究员：

主要研究方向为深紫外光学设计、光学检测、自适应光学、光学系统集成等。

Ø 赵帅 副研究员：

研究方向为超快激光的系统设计、光学检测、光学调试等。

Ø 刘昌华 副研究员：

研究方向为精密机械系统设计。

l 实验室条件：

实验室为半导体无尘实验室，能够完成明场、暗场等不同类型的半导体芯片晶圆量检测产品和设备的集成和封装测试。具有zygo干涉仪、测微准直望远镜、自准直仪、纳米级位移平台等高精度光学与测量工具，能够实现纳米级光学检测与调试。

l 联系方式：

电话：18643075226

邮箱：mingming@ucas.ac.cn